基本信息
| 标准名称： | 金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法 |
| 英文名称： | Gold-plated thickness measurement by SEM |
| 中标分类： | 仪器、仪表 >> 光学仪器 >> 电子光学与其他物理光学仪器 |
| ICS分类： | 成像技术 >> 光学设备 |
| 发布部门： | 国家质量技术监督局 |
| 发布日期： | 1999-04-01 |
| 实施日期： | 1999-01-02 |
| 首发日期： | 1999-04-11 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国微束分析标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 中国科学院北京科仪研制中心 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2004-04-16 |
| 页数： | 平装16开， 页数：7， 字数：10千字 |
| 书号： | 155066.1-15975 |
适用范围
本标准规定了各类金制品的金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法的技术要求，本标准也适用于电子探针仪测量金覆盖层厚度，适用的厚度测量范围为0.2~10um。其他金属材料的覆盖层厚度的测量也可参照执行。
前言
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目录
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